盧志遠獲頒交大名譽博士學位，
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，作為弟弟的鈺創科技董事長盧超群也感到與有榮焉。盧超群說，
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，哥哥當初放棄Bell Labs的高薪，
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，回台帶領團隊研發完成台灣第一片8吋晶圓，
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，最大的貢獻就是把台灣原本後進的半導體，
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，提升到先進的技術。
1989年盧志遠還在美國Bell Labs擔任研究員及計畫主持人，盧超群說，因李國鼎資政修書一封，希望他回國貢獻國家，哥哥放棄比回台高3、4倍的薪資，毅然返國，擔任工研院電子所副所長暨經濟部次微米計畫專案總主持人，投入8吋晶圓的研發。
盧超群表示，那段時間他到哥哥日以繼夜、不眠不休的努力，將政府原先規劃5年才能完成的6吋晶圓提升到8吋的計劃，提早一年完成，而且還將結餘經費還給國家。盧志遠也說，當初決定回國，考慮的並不是金錢和待遇，最重要的是有李國鼎和當時的工研院董事長張忠謀等人的賞識，讓他有機會為台灣寫歷史，對台灣的半導體產業做一點貢獻。
盧志遠回憶，他負責主持的是一個5年70億預算的計劃，在沒有外援的情況下，靠著一群年輕、肯拚的團隊，僅花4年、65億經費就提早研發完成台灣第一片8吋晶圓。盧志遠說，這項計劃所採購的機器設備完全採透明的公開招標，剩餘的5億元也歸還國家，後續衍生成立的世界先進公司，包括他自己和團隊的每一個人，也完全沒有技術股，政府的回收高達數倍。，